GES 22: Aflejring af tyndfilm ved fordampningsteknik.

Transkript

1 1. TITEL GES 22: Aflejring af tyndfilm ved fordampningsteknik. Livscyklus Kort friteksttitel Anvendelse DU af Ni-metal Fordampningsprocesser i halvlederindustri Systematisk titel baseret på Use Descriptor SU: SU 3 industriel anvendelse PC: Ikke relevant ERC: SPERC forarbejdning af massivt metal PROC: PROC 1 Anvendelse i lukket proces, ingen sandsynlighed for kontakt PROC 0 Rengøring og vedligeholdelse Omfattede processer, opgaver og aktiviteter (miljø) Fordampningsprocesser i halvlederindustri og optisk industri Omfattede processer, opgaver og aktiviteter (arbejdstagere) Medvirkende sscenarie ES 20.1: PROC 1: Aflejring af Ni Medvirkende sscenarie ES 20.2: PROC 0: Rengøring og vedligeholdelse 2. Anvendelsesforhold og risikohåndteringsforanstaltninger 2.1 Styring af af miljø Miljørelateret kort friteksttitel Aflejring af tyndfilm ved fordampningsteknik Systematisk titel baseret på Use Descriptor (miljø) SPERC forarbejdning af massivt metal Omfattede processer, opgaver og aktiviteter (miljø) Nikkel fordampes under vakuum og aflejres igen på overfladen, der belægges Metode til miljøvurdering Bedømmelse af lokale koncentrationer baseret på anvendelse af SPERC til forarbejdning af massivt metal og målte regionale koncentrationer anvendes til beregning af PEC for jordområdet Produktegenskaber Massivt, metallisk Ni med høj renhedsgrad (99,5%) Damp under fordampningsproces i lukket kammer Anvendte mængder Maksimal daglig anvendelse på anvendelsessted typisk 100 g (interval: g pr. belægningsmaskine i døgndrift, antal belægningsmaskiner pr. sted, der anvender samme proces: 1-10) Maksimal årlig anvendelse på anvendelsessted ikke oplyst Anvendelseshyppighed og -varighed Mønster for afgivelse til miljøet For anvendelse af Vale's downstream kunder kun 1/6

2 Miljøfaktorer, der ikke påvirkes af risikohåndtering Strømningshastighed for modtagende overfladevand ikke relevant Fortyndingskapacitet, ferskvand ikke relevant Fortyndingskapacitet, saltvand ikke relevant Andre anvendelsesforhold, der påvirker af miljøet Helt lukket proces. De anvendte Ni-mængder er ekstremt små. spildevandsudledning. Mulig afgivelse til arbejdsmiljøet forventes at være < 0,001-3, hvoraf følger, at mulig afgivelse til luften er minimal. Tekniske forhold og forholdsregler på procesniveau (kilde) for at forebygge afgivelse Helt lukket proces Tekniske forhold og forholdsregler på stedet til reduktion eller begrænsning af udslip, luftudledning og afgivelse til jord Ikke oplyst Virksomhedsforholdsregler til forebyggelse/begrænsning af udledning fra anvendelsessted Forhold og forholdsregler relateret til kommunalt spildevandsanlæg Kommunalt spildevandsanlæg (STP) - ikke relevant Udløbsmængde fra kommunalt STP - ikke relevant Slamforbrænding for kommunalt STP - ikke relevant Forhold og forholdsregler relateret til ekstern behandling af affald til bortskaffelse Affald fra proces, rengøring og vedligeholdelse afhentes af et autoriseret firma og håndteres og behandles som farligt affald. Forhold og forholdsregler relateret til ekstern genvinding af affald Ikke oplyst 2.2 Styring af af arbejdstagere for medvirkende sscenarie 22.1 Aflejring af nikkel Arbejdstagerrelateret kort friteksttitel - tyndfilmaflejring med fordampningsteknik Omfattet Use Descriptor PROC 1 Anvendelse i lukket proces, ingen sandsynlighed for Omfattede processer, opgaver og aktiviteter Aflejring af Ni Vurderingsmetode Vurdering af baseret på kvalitativ bedømmelse Produktegenskaber Massivt, metallisk Ni med høj renhedsgrad (99,5%) Damp under fordampningsproces i lukket kammer Anvendte mængder Fra nogle få og op til 100 g pr. skiftehold pr. belægningsmaskine (afhænger af specifikke maskinog procesparametre) For anvendelse af Vale's downstream kunder kun 2/6

3 Hyppighed og varighed af anvendelse/ 8-timers skift. Menneskelige faktorer, der ikke påvirkes af risikohåndtering Vejrtrækningsvolumen under anvendelsesforhold ikke relevant Lokalestørrelse og udsugningshastighed ikke relevant Hudareal i kontakt med stoffet under anvendelse ikke relevant Kropsvægt ikke relevant Andre anvendelsesforhold, der påvirker af arbejdstagere Skifteholdsarbejde Anvendte Ni-mængder er ekstremt små Tekniske forhold og forholdsregler på procesniveau (kilde) for at forebygge afgivelse Helt lukkede processer Tekniske forhold og forholdsregler til styring af spredning fra kilden til arbejdstageren Virksomhedsforholdsregler til forebyggelse/begrænsning af udledning, spredning og Forhold og forholdsregler relateret til personlig beskyttelse, hygiejne og helbredsvurdering God hygiejnepraksis på arbejdspladsen Gennem huden: Passende handsker påkrævet ved påfyldning og tømning 2.3 Styring af af arbejdstagere for medvirkende sscenarie 22.2 Rengøring og vedligeholdelse Arbejdstagerrelateret kort friteksttitel - tyndfilmaflejring med fordampningsteknik Omfattet Use Descriptor PROC 0 Rengøring og vedligeholdelse Omfattede processer, opgaver og aktiviteter Rengøring og vedligeholdelse Vurderingsmetode Vurdering af baseret på kvalitativ bedømmelse Produktegenskaber Massivt, metallisk Ni med høj renhedsgrad (99,5%) Anvendte mængder Ikke relevant Hyppighed og varighed af anvendelse/ 8-timers skift Menneskelige faktorer, der ikke påvirkes af risikohåndtering Vejrtrækningsvolumen under anvendelsesforhold ikke relevant Lokalestørrelse og udsugningshastighed ikke relevant Hudareal i kontakt med stoffet under anvendelse ikke relevant Kropsvægt ikke relevant For anvendelse af Vale's downstream kunder kun 3/6

4 Andre anvendelsesforhold, der påvirker af arbejdstagere Pådampningskammer renses manuelt. Beskyttelsesskærme (belagt med de anvendte materialer ved processen) afmonteres og rengøres med sandblæsning Tekniske forhold og forholdsregler på procesniveau (kilde) for at forebygge afgivelse Helt lukkede processer Tekniske forhold og forholdsregler til styring af spredning fra kilden til arbejdstageren Virksomhedsforholdsregler til forebyggelse/begrænsning af udledning, spredning og Forhold og forholdsregler relateret til personlig beskyttelse, hygiejne og helbredsvurdering ÅV og passende handsker påkrævet ved rengørings- og vedligeholdelsesarbejde. 3.0 Vurdering af og risiko Miljø Aflejring af tyndfilm ved fordampningsteknik Område Enhed PNEC PEC regional C local PEC RCR Metoder til beregning af miljøkoncentrationer og PNEC Ferskvand my Ni/l Saltvand my Ni/l Jord Ni/kg 29,9 16,2 1.2E-5 16,2 0,54 Målte værdier, niveau 3-RWC Arbejdstagere ES 22.1 Aflejring af Ni Gennem huden Akut Akut lokal Langtids Langtids lokal Enhed DNEL Eksponeringskoncentration RCR Metoder til beregning af - IR - IR - IR 0,015 5*10-6 <0,001 Vurderet 75. percentil af langtids Indånding Akut Ni/m ,01 <0,001 Vurderet til 10 x 75. Akut lokal Ni/m 3 1,6 1 0,01 0,006 Vurderet til 10 x 75. Langtids Ni/m 3 0,05 2,3 0,001 0,02 Den 75. percentil af Langtids lokal Ni/m 3 0,05 2,3 0,001 0,02 Den 75. percentil af 1 Baseret på 1,5 my MMAD, stiger ved stigende MMAD (anslået til 6,4 Ni/m 3 ) ved af partikler med MMAD på 30 my. For anvendelse af Vale's downstream kunder kun 4/6

5 2 Ved håndtering af pulvere med partikeldiameter under 10 my bør (TWA: 8 timer) for disse pulvere holdes under 0,01 Ni/m 3. 3 Når kun sker for metallisk og oxideret nikkelstøv (uden af opløselig nikkel eller sulfideret nikkel), og den gennemsnitlige partikelstørrelse er større end 10 my aerodynamisk diameter ( 10% af aerosolmasse i indåndbar fraktion), kan indåndbare sniveauer op til 0,2 Ni/m 3 med rimelighed antages at være sikre. ES 22.2 Rengøring og vedligeholdelse Enhed DNEL Eksponeringskoncentration RCR Metoder til beregning af Gennem huden Akut - IR Akut lokal - IR Langtids - IR Langtids lokal 0,015 5*10-6 <0,001 Vurderet 75. percentil af langtids Indånding Akut Ni/m ,01 <0,001 Vurderet til 10 x 75. Akut lokal Ni/m 3 1,6 1 0,01 0,006 Vurderet til 10 x 75. Langtids Ni/m 3 0,05 2,3 0,001 0,02 Den 75. percentil af Langtids lokal Ni/m 3 0,05 2,3 0,001 0,02 Den 75. percentil af 1 Baseret på 1,5 my MMAD, stiger ved stigende MMAD (anslået til 6,4 Ni/m 3 ) ved af partikler med MMAD på 30 my. 2 Ved håndtering af pulvere med partikeldiameter under 10 my bør (TWA: 8 timer) for disse pulvere holdes under 0,01 Ni/m 3. 3 Når kun sker for metallisk og oxideret nikkelstøv (uden af opløselig nikkel eller sulfideret nikkel), og den gennemsnitlige partikelstørrelse er større end 10 my aerodynamisk diameter ( 10% af aerosolmasse i indåndbar fraktion), kan indåndbare sniveauer op til 0,2 Ni/m 3 med rimelighed antages at være sikre. 4. Vejledning til DU til evaluering af, hvorvidt denne arbejder inden for de grænser, der er sat af ES Miljø Skaleringsværktøj: EUSES it-værktøj til metaller (gratis download: Skalering af afgivelse til luft- og vandmiljø omfatter: Præcisering af faktoren for afgivelse til luft og spildevand og/eller virkningsgraden af luftfiltret og spildevandsanlægget. For anvendelse af Vale's downstream kunder kun 5/6

6 Skalering af PNEC til vandmiljø ved anvendelse af niveaudelt tilgang til korrektion for biotilgængelighed og baggrundskoncentration (C local -tilgang). Skalering af PNEC til jordområdet ved anvendelse af niveaudelt tilgang til korrektion for biotilgængelighed og baggrundskoncentration (C local -tilgang). Arbejdstagere Skalering, hvor anvendelsesvarighed og -hyppighed tages i betragtning Indsaml procesovervågningsdata. Anvend information om aerosolpartikelstørrelse (hvis tilgængelig) til bekræftelse af passende anvendelse af indåndbart DNEL. Kemiske specifikationsdata, der viser, at kun Ni-metal og/eller Ni-oxider er til stede i luften på arbejdsstedet, kan anvendes til at indikere RCR <1 ved sniveauer mellem 0,05 og 0,2 Ni/m 3. For anvendelse af Vale's downstream kunder kun 6/6