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第 期 <3$ %$' '3$, $4<$' % 4$4$'%3,23!% 利用 在 面蓝宝石上生长的 面 &9 中两步 '9 缓冲层的优化 何 涛 陈 耀 李 辉 戴隆贵 王小丽 徐培强 王文新 陈 弘 中国科学院物理研究所凝聚态国家重点实验室 北京 : 摘要 采用两步 % 缓冲层 一层低温 % 和一层高温 % 在 " 面蓝宝石衬底上生长了非极性的 $ 面 23 并利用高分辨 0 射线衍射和光致荧光谱对所生长的材料进行了研究 两步 % 缓冲层在我们之前的工作中已被证明比单步高温 % 或低温 23 缓冲层更有利于减小材料各向异性和提高晶体质量 本文进一步优化了两步 % 缓冲层的结构 并得到了各向异性更小 晶体质量更好的 $ 面 23 薄膜 分析表明 两步 % 缓冲层中的低温 % 层在减小各向异性中起着关键作用 低温 % 层能抑制了优势方向 轴 的原子迁移 有利于劣势方向 轴 的原子迁移 从而减小了 % 原子在不同方向迁移能力的差异 并为其后的高温 % 缓冲层和 23 层提供 生长模板 以得到各向异性更小 晶体质量更好的 $ 面 23 材料 关 键 词 23 各向异性 0 射线衍射 % 缓冲层中图分类号 )& (( )(( ((! )(( 文献标识码 文章编号 ( )) 64789 收稿日期 修订日期 基金项目 国家自然科学基金 )::)() 科技部 ) 计划 : 资助项目 作者简介 何涛 :) 男 湖北黄冈人 主要从事化合物半导体材料的研究 3% 9%3;3,3;$ <% ):( 通讯联系人 3% 83,73'>'>3;;, <% ):) 发光学报 成为美国 收录源期刊 年 月 ( 日 发光学报 接到 中国信息部通知 从 年第 期起正式被 工程索引 收录为刊源 作为世界领先的应用科学和工程学在线信息服务提供者 是全世界最早的工程文摘来源 一直致力于为科学研究者和工程技术人员提供最专业 最实用的在线数据 知识等信息服务和支持 发光学报 进入 收入系统 对加强我国发光学研究领域及论文作者开展更广泛的国内外交流 提升我国技术人员学术声誉具有积极的促进作用 发光学报 由中国物理学会发光分会 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所主办 徐叙誽院士和范希武研究员任名誉主编 申德振研究员担任主编 发光学报 自 :) 年创刊以来 业内专家的大力支持下 得到了健康 快速的发展 发光学报 年度影响因子为 已成为我国物理学领域有较大影响的学术刊物 发光学报 能够进入 是国际社会对工作在发光学科研领域里的我国科学工作者学术水平的认可 是对长春光机所主办期刊的认可 发光学报 成为 源期刊后 将获得更好的办刊平台 为将 发光学报 办成有特色的精品期刊创造了良好的条件